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KW-4T触摸版高性能匀胶机

更新时间:2019-11-19

简要描述:

KW-4T触摸版高性能匀胶机广泛应用于半导体,集成电路,材料,微光学,生命科学,凝聚态物理,化学等科学研究与生产,可用于硅片/载玻片/化合物镜片/ITO/导电玻璃等各种基底材料的表面处理和涂覆。
20年精心打造核心技术, KW-4T全触摸屏高性能匀胶机性能全面提升,全新外观!

KW-4T触摸版高性能匀胶机

KW-4T触摸版高性能匀胶机

广泛应用于半导体,集成电路,材料,微光学,生命科学,凝聚态物理,化学等科学研究与生产,可用于硅片/载玻片/化合物镜片/ITO/导电玻璃等各种基底材料的表面处理和涂覆。

KW-4T触摸版高性能匀胶机20年精心打造核心技术, KW4T全触摸屏高性能匀胶机性能全面提升,全新外观!

型号

KW-4T

转速/功率

250-9000 转/ /40W

转速稳定性

转速稳定性:<±1% 旋涂均匀性:<1%

旋涂均匀性(*性)

<1%(片内);<1%(片间)

基片尺寸

Φ5-Φ100mm圆片,最大100mm×100mm方片

显示/程序控制

全触摸屏操作,快速启动,人性化界面

旋涂时间

6步工艺调速设计,单步工艺 0-1800s,可根据用户需求增加调节时间

适应材料/工艺支持

适合硅片、玻璃、石英、金属、GaAs,GaN,InP等各种材料,工艺服务

特殊夹具定制

20年特殊夹具设计经验,*匹配超薄、异形、脆性易碎样品

尺寸

整机尺寸(mm):280×210×248 裸机尺寸:280×210×155

泵参数

型号:KW-550A/T ;抽速:>1.5 /秒;功率:300W

噪音:55dB 电压:~220V/50Hz 最低真空度:-700mmHg

重量(Kg):7.3 ;外形尺寸(mm3):250×130×225

配置

主机+真空泵(含消音器)+基片三个(5-45毫米的圆形基片任意选择)

质量保证

质保一年

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