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美国Novascan加热型紫外臭氧清洗机

更新时间:2019-10-16

简要描述:

美国Novascan加热型紫外臭氧清洗机主要用于:纳米技术、化学、生物、光学、电子、半导体及世界各地实验室。应用领域包括:预处理表面图案化工具;清洁硅和氮化硅探针;晶圆清洗;表面氧化及制备;提高表面亲水性;表面清洗;制备薄膜沉积;紫外光固化;表面图案化;清洗光学镜头;粘接硅橡胶;表面消毒;清洁MEMS器件;可处理材料表面:氮化硅、金属、玻璃、云母、石英、陶瓷、聚合物。

美国Novascan加热型紫外臭氧清洗机

美国Novascan加热型紫外臭氧清洗机

工作条件:工作环境温度5-35℃;湿度≤70%;电源220V/50/60Hz。

主要用途:美国Novascan加热型紫外臭氧清洗机广泛用于纳米技术、化学、生物、光学、电子、半导体及世界各地实验室。主要应用领域:预处理表面图案化工具;清洁硅和氮化硅探针;晶圆清洗;表面氧化及制备;提高表面亲水性;表面清洗;制备薄膜沉积;紫外光固化;表面图案化;清洗光学镜头;粘接硅橡胶;表面消毒;清洁MEMS器件;可处理材料表面:氮化硅、金属、玻璃、云母、石英、陶瓷、聚合物。

系统组成:

1)紫外臭氧清洗机 主机 1台          2) 可变工作台(内置)         1个

3) 微处理器(内置)        1个           4) Thermal UV,温度高达200℃ 1套

 技术参数:

美国Novascan加热型紫外臭氧清洗机是科研级紫外臭氧清洗机,有效清洗尺寸大于12.5x12.5cm的样品;

样品台单元:

1.样品台尺寸大于12.5x12.5cm; 最大处理样品高度大于10cm;

2.※样品高度可调,可以合理定位样品高度和位置,位置可锁定。

3.※样品台可加热控温,控温范围:室温-200℃;

4.清洗腔打开方式:上开式;

5.360度样品放置:打开清洗腔上开式,允许360度自由放置样品;

紫外灯单元

UV格栅灯:低压汞格栅灯,灯管寿命大约为5000小时;

UV反射罩:UV反射罩有效范围大于12.5x12.5cm;;

紫外灯波长:185nm和254nm。

典型强度:28-32Mw/cm2 @253.7nm

控制单元

可编程PID数字控制器,可准确设定和控制曝光时间、处理时间、样品高度、样品加热等各项参数;

系统运行过程可执行暂停、终止或重新启动等指令;

倒计时方式数字显示;

内置存储器,记忆可调取上一次处理的参数设置。 

安全装置

安全联锁机制,清洗腔打开系统自动关掉UV灯;

过温保护:用户可设置允许的极限温度,实际温度达到用户设置温度后,系统自动关机。 

※双标准气路:符合国际标准的进出气接口,可根据用户需要订制,可接入氧气,增加臭氧产量。

可选配臭氧清除机,可在直接在实验室桌面上使用紫外臭氧清洗机,不需要通风橱,操作安全方便。样品处理过后不需等待,可以直接取出,节省时间。

可选配双UV灯系统,可以同时对样品顶部和底部进行处理,操作更方便,效果更好,也更节省时间。

可选配铝质或石英材质真空舱。

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