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等离子键合仪/刻蚀

更新时间:2024-01-03

浏览次数:4044

简要描述:

供应SAT-5D等离子键合仪/刻蚀,等离子键合仪/刻蚀采用高频13.56Mhz射频电源,扫频自动匹配,稳定可靠,具有自动保护功能。

品牌赛奥特(SAT)产地类别国产
应用领域医疗卫生,生物产业,石油,能源,电子

  一、技术特点:
  1.舱体、管路、阀体全部为不锈钢材料,耐用、防腐容易清洁。
  2.仪器实现了手动,自动两种模式任意切换的工作方式,方便用户实验
  3.仪器实现了程序化设计,预先编辑好程序,仪器可以自动完成实验
  4.无需任何耗材使用成本低,无需特殊进行维护,日常使用保持仪器清洁即可
  5.电容式等离子激发,处理效果均匀,激发电极板内置样品仓内顶部悬挂
  6.密闭真空环境下完成实验避免二次污染
  7.采用高频13.56Mhz射频电源,扫频自动匹配,稳定可靠,具有自动保护功能。
  8.灵活的参数设置和修改功能,可适应多种处理工艺。
  9.实时检测和显示样品仓的真实真空度,具有1Pa的真空分辨率,能够方便的接入MFC气体流量控制仪,实现对气体流量和真空度的精准控制和监测。
  10. 液晶屏+薄膜数字按键控制方式,操作直观简单稳定可靠。
  11.样品为粉末或者细微小颗粒的时候,选择转鼓等离子清洗机是您正确的选择,当然还可以处理一些液态物质,例如一些植物叶片的提取液。
  二、技术规格参数

型号:SAT-5D

品牌:赛奥特(SAT)
                     

不锈钢/石英舱体
                     

Φ150 mm×L255mm
                     

可以选配石英转鼓用来处理微颗粒以及粉末

工作气路
                     

两路,可以选配MFC控制
                     

射频频率
                     

13.56MHz
                     

射频功率
                     

0-150W,可调,扫频自动匹配
                     

控制系统
                     

液晶屏+薄膜数字按键,实时显示和检测舱内真空度值
                     

时间范围
                     

0—99分59秒连续可调
                     

工作压力
                     

样品仓内200Pa以内根据进气量自动调节
                     

工作气体
                     

空气、氧气、氮氢混合气、氩气、氮气及其他惰性气体与混合气体均可
                     

进气压力
                     

空气:常压     连接气体钢瓶:0.1-0.3Mpa
                     

工作模式
                     

手动模式和程序化自动模式
                     

真空泵
                     

抽速:1升到5升每秒
                     

输入电源
                     

~220V/50Hz
                     

整机尺寸(D*W*H)
                     

552X590X295mm
                     

重量(约)
                     

28Kg
                     

 

 

 

 

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