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等离子表面处理仪

更新时间:2024-05-07

浏览次数:3967

简要描述:

供应SAT 210等离子表面处理仪,等离子表面处理仪
1.实时检测和显示真空度,真空度准确使得机器在智能控制下有了可靠的依据。
2.设备自动模式下:真空启动值可以自由设定(范围:1—80帕)这样就为外加气体提供了可靠的辉光启动环境,使得辉光保持更高纯度,有力的保证了实验效果的准确性和可靠性。
3.舱体、管路、阀体全部为不锈钢材料,耐用防低腐蚀。
4.采用电容式 Plasma激发,实验效果稳定,均匀可靠,电极板置于样品仓内顶部悬挂.

品牌赛奥特(SAT)品牌赛奥特(SAT)
经营方式厂家直销

                                             SAT 210  等离子表面处理仪

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应用领域

适用于材料科学、光学、光电子学、生命科学、电子学、生物医学、半导体、高分子科学、微观流体学等领域.

主要实验应用

  1.表面清洁 2.表面活化 3.键合 4.去胶 5.金属还原 6.简单刻蚀 7.去除表面有机物  8.疏水实验  9.沉积实验  10.形成新的基团  11.镀膜前处理等

技术特点

1.实时检测和显示真空度,使得设备在智能控制下有了可靠的依据.

2.真空值可自由设定,(范围:10—60)为外加气体提供了可靠的辉光启动环境,为辉光纯度提供了有利的保障,保证了实验效果的准确性和可靠性.

3.真空腔体采用铰链侧开门结构,带有观察窗,材料为6061材质.

4.腔体、管路、阀体全部为不锈钢材料.

5.电容式(CCP)激发,实验效果稳定,均匀可靠,电极板置于样品仓内顶部悬挂.

6.采用触摸屏显示控制,手动,自动两种模式任意切换.

7.程序化设计,预先编辑好程序,仪器自动完成实验.

8.利用气体电离后产生的等离子体的反应活性与材料表面发生的物理或者化学反应,使材料表面成分、组成和结构发生变化,并能得到某些特定的基团。

9.无需耗材,使用成本低,无需特殊进行维护,在日常使用中保持仪器清洁即可。

等离子表面处理仪技术规格

1.样品腔体尺寸:255(深度)X110(直径)mm ,不锈钢材质.

2.放置样品托盘尺寸:105()X230(长)mm,材质:6061铝氧化本色

3.射频频率:40KHz .

4.射频功率:200W0200W可调,精度:1.

5.辉光放电功率:10W--200W

6.辉光放电时间设定:1秒到9959.

7.气路设置:3气路(2路进气,一路放空).

8.工作气体稳定时间:可调,可设定,范围:0--180.

9.进气控制:两路浮子流量计控制

10.工作气体:空气\氮气\氩气\氮氢混合气\氩氦混合气等均可; 也可接入无腐蚀性、无毒的工作液体溶液,例如:六甲基二硅氧烷(HMDSO),接入工作液体需要选配接枝仪来配套使用。

11.进气压力:通入空气时常压,接入钢瓶时,钢瓶进气压力调整到0.1-0.2Mpa

12.供电电源:~220V50Hz

13.外形尺寸(宽**高)mm:440ⅹ490ⅹ485

14.整机重量(约):20Kg

真空泵  

标准配置为机械油泵:1)抽速:2/2)极限压强:6*10-2   3)噪音;≤66db 4)抽气KF16法兰接口,排气口KF25接口 5)电源线为阴插线

基本配置

主机+真空系统(双极机械真空油泵、油雾过滤器、真空管、KF16法兰)、外加气体软管、样品托盘、说明书、电源线、合格证

七 选配件

(一)机械油泵 型号:VRD-8

1.抽速:2.2/  2.极限压强:≤5*10-2  3.噪音;≤56db   4.工作环境温度:5—45

(二)干泵(1  型号:GWSP150

1.抽速:2/  2.极限压强:≤6 3.噪音;≤57db  4.工作环境温度:5--45℃

  干泵(2)型号: SPH10

1.抽速:2.8/ 2.极限压强:≤2  3.噪音;≤55db

4.工作环境温度:5--45℃

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八  操作方法
 
1、准备工作:首先需检查设备是否正常,确认所有连接线路是否牢固。开启气源和电源,并进行预热等操作。
 
2、样品处理:将待处理的样品放置于等离子体区域内,对其进行清洁处理以去除表面污物和水分。可以使用化学溶液、超声波浴等方式进行清洗。
 
3、等离子体处理:开启等离子体电源,通过调节电压、频率等参数控制等离子体的形成和强度。进行等离子体表面处理,一般处理时间在数分钟到数小时之间。
 
4、停止处理:处理完成后,关闭电源和气源,切勿直接取出样品。需先关闭等离子体电源,停止等离子体的产生,等待等离子体消散后再取出样品。
 
5、清洗维护:处理完毕后需要对设备进行清洗和维护,防止残留的化学物质对设备造成损坏或影响下次使用效果。

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