等离子刻蚀

赛奥特（SAT)等离子刻蚀   SAT 510

一 应用领域  

赛奥特（SAT)等离子刻蚀适用于材料科学、光学、光电子学、生命科学、电子学、生物医学、半导体、高分子科学、微观流体学等领域.

二 主要实验应用  

1.表面清洁 2.表面活化 3.键合 4.去胶 5.金属还原 6.简单刻蚀 7.去除表面有机物  8.疏水实验  9.沉积实验  10.形成新的基团  11.镀膜前处理等

三 技术特点  

※1.实时检测和显示真空度,使得设备在智能控制下有了可靠的依据.

※2.真空值可自由设定,(范围:10—60帕)为外加气体提供了可靠的辉光启动环境,为辉光纯度提供了有利的保障,保证了实验效果的准确性和可靠性.

3.真空腔体采用铰链侧开门结构，带有观察窗，材料为6061材质.

4.腔体、管路、阀体全部为不锈钢材料.

※5.电容式（CCP）激发,实验效果稳定,均匀可靠,电极板置于样品仓内顶部悬挂.

6.采用触摸屏显示控制，手动，自动两种模式任意切换.

7.程序化设计，预先编辑好程序，仪器自动完成实验.

8.利用气体电离后产生的等离子体的反应活性与材料表面发生的物理或者化学反应，使材料表面成分、组成和结构发生变化，并能得到某些特定的基团。

9.无需耗材,使用成本低,无需特殊进行维护,在日常使用中保持仪器清洁即可。

四 技术规格  

1.样品腔体尺寸：255(深度)X155（直径）mm ，不锈钢材质.

2.放置样品托盘尺寸:150(宽)X230（长）mm，材质：6061铝氧化本色

※3.射频频率：40KHz  

※4.射频功率:300W，0到300W可调，精度：1瓦.

※5.辉光放电功率：10W----300W

6.辉光放电时间设定：1秒到99分59秒.

※7.气路设置:3气路（2路进气，一路放空）.

※8.工作气体稳定时间:可调，可设定，范围：0--180秒.

※9.进气控制：两路浮子流量计控制.

10.工作气体:空气\氮气\氩气\氮氢混合气\氩氦混合气等均可; 也可接入无腐蚀性、无毒的工作液体溶液，例如:六甲基二硅氧烷(HMDSO)，接入工作液体需要选配接枝仪来配套使用。

11.进气压力：通入空气时常压，接入钢瓶时，钢瓶进气压力调整到0.1-0.2Mpa

12.供电电源：~220V／50Hz

13.外形尺寸（宽*深*高）mm:440ⅹ490ⅹ485

14.整机重量（约）：25Kg

五 真空泵

标准配置为机械油泵：1）抽速:2升/秒 2）极限压强：6*10-2帕   3）噪音;≤66db 4）抽气KF16法兰接口，排气口KF25接口 5）电源线为阴插线

六 基本配置  

主机+真空系统（双极机械真空油泵、油雾过滤器、真空管、KF16法兰）、外加气体软管、样品托盘、说明书、电源线、合格证

七选配件

（一）机械油泵   型号：VRD-8  

1.抽速:2.2升/秒  2.极限压强：≤5*10-2帕  3.噪音;≤56db   4.工作环境温度：5—45

（二）干泵（1）  型号：GWSP150

1.抽速:2升/秒  2.极限压强：≤6帕    3.噪音;≤57db    

4.工作环境温度：5--45℃  

    干泵（2）型号： SPH10

1.抽速:2.8升/秒 2.极限压强：≤2帕  3.噪音;≤55db

4.工作环境温度：5--45℃